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機(jī)械手臂

晶圓機(jī)器人

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晶圓機(jī)器人


特征


軟硬件垂直整合優(yōu)勢,并且采用高精密,高剛性直驅(qū)馬達(dá),重復(fù)精度達(dá)±0.02mm,回轉(zhuǎn)半徑小,空間使用率高。

應(yīng)用


適用於半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)(晶圓取放)、光電產(chǎn)業(yè)(小型面板、小型太陽能板)LED產(chǎn)業(yè)(藍(lán)寶石基板、膠環(huán))等取放設(shè)備。

 規(guī)格資料


項(xiàng)目

規(guī)格

Z

行程

500mm

速度

250mm/s

T

運(yùn)轉(zhuǎn)範(fàn)圍

0~340

角速度

250/s

R

行程

420mm

速度

750mm/s

重量

Approx. 48kg

潔淨(jìng)度

ISO Class 2(ISO 14644)

壽命

60,000hrs

頂部安裝板

290x290 mm2

工作環(huán)境

10~40

重覆精度

±0.02 mm

載重能力

0.5Kgf

系統(tǒng)通訊

RS-232,I/O

真空度

-40kPa ~ -60kPa, ?6

電源

Single-Phase AC110V/AC220V


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